4HEAD ASS’Y > TUBE 배기대 진공장비

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태영에스엘티

초고진공 배기대와 산업용로 설계 제작 및 배기공정과 TIP-OFF를 진행하는 토탈솔루션 업체입니다.

4HEAD ASS’Y > TUBE 배기대 진공장비

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  • 4HEAD ASS’Y 4HEAD ASS’Y
    FRAME / Metal TYPE – D/P PUMP / TMP/ ION PUMP
    SYSTEM CONTROLLER –Batch type – TIP
    CONTINUOUS CURRENT – CONTINUOUS VOLTAGE UNIT – ELECTRIC CONTROL

    상기 장치는 HEAD부에 X-ray Tube를 장착하여
    Schedule에 의해 작업 종료까지 자동Control 되는 system 입니다.

    진공도 : N X 10(-8)torr

     

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